heidenhain光柵尺貨期長(zhǎng)早備貨
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根據(jù)法的不同又分為增量式和值式光柵尺，
以下是敞開式光柵尺的信息：
直線光柵尺測(cè)量直線軸過(guò)程期間沒有
任何其它機(jī)械傳動(dòng)件。因此，它能消除以
下潛在源：
••滾珠絲杠溫度特性導(dǎo)致的定位
••反向
••滾珠絲杠螺距導(dǎo)致的運(yùn)動(dòng)特性
因此，直線光柵尺已成為精度定位和
速加工*的*條件。
敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于需要精度測(cè)
量的機(jī)床和系統(tǒng)。典型應(yīng)用包括：
••半導(dǎo)體工業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
•• PCB電路板組裝機(jī)
••超精密機(jī)床，例如加工光學(xué)元件的金剛
石刀具，加工磁盤端面車床和加工鐵氧
體元件的磨床
••精度機(jī)床
••測(cè)量機(jī)和比較儀，測(cè)量顯微鏡和其它精
密測(cè)量設(shè)備
••驅(qū)動(dòng)
機(jī)械結(jié)構(gòu)
敞開式直線光柵尺包括光柵尺或鋼帶光柵
尺和讀數(shù)頭，光柵尺和讀數(shù)頭間無(wú)機(jī)械接
觸。
敞開式直線光柵尺的長(zhǎng)光柵固定在安
裝面上。安裝面的平面度影響直線光
柵尺精度。式測(cè)量
LIC敞開式直線光柵尺用于測(cè)量速運(yùn)動(dòng)
的行程達(dá)27 m內(nèi)的。其尺寸和安
裝與LIDA 400相同。
基體和安裝熱膨脹系數(shù)
atherm
精度等式測(cè)量
LIC
用于測(cè)量
鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并預(yù)
緊
與安裝面相同± 5 μm 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固
定
? 10 · 10–6K–1 ± 15 μm
± 5 μm2)
鋼帶光柵尺，嵌入在安裝面中? 10 · 10–6K–1 ± 15 μm
± 5 μm2)
增量式直線光柵尺
LIP
超精度
Zerodur玻璃陶瓷基體，嵌入
在螺栓固定在不脹的鋼基座上
? 0 · 10–6K–1 ± 0.5 μm3) Zerodur玻璃陶瓷光柵尺帶固
定架
? 0 · 10–6K–1 ± 3 μm
± 1 μm
Zerodur玻璃陶瓷或玻璃基體
光柵帶固定架
? 0 · 10–6K–1 或
? 8 · 10–6K–1
± 1 μm
± 0.5 μm3)
玻璃光柵尺，安裝架固定? 8 · 10–6K–1 ± 1 μm LIF
精度
Zerodur玻璃陶瓷或玻璃基體
光柵尺，通過(guò)PRECIMET背膠
固定
? 0 · 10–6K–1 或
? 8 · 10–6K–1
± 3 μm LIDA
用于速運(yùn)動(dòng)和大測(cè)量長(zhǎng)度
玻璃或玻璃陶瓷光柵尺，嵌入
在安裝面中
? 0 · 10–6K–1 或
? 8 · 10–6K–1
± 5 μm3) 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并預(yù)
緊
與安裝面相同± 5 μm 鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固
定
? 10 · 10–6K–1 ± 15 μm
± 5 μm2)
鋼帶光柵尺，嵌入在安裝面中? 10 · 10–6K–1 ± 15 μm
± 5 μm2)
鋼帶光柵尺穿入在鋁殼中并固
定
? 10 · 10–6K–1 ± 30 μm 鋼帶光柵尺，嵌入在安裝面中? 10 · 10–6K–1 ± 30 μm PP
二維坐標(biāo)測(cè)量
玻璃格柵板，表面固定? 8 · 10–6K–1 ± 2 μm 1) 正弦信周期。
它是單信周期內(nèi)的決定性因素（參見測(cè)量精度）。超精度
LIP敞開式直線光柵尺的特點(diǎn)是測(cè)量步距
非常小、精度和重復(fù)精度非常。 掃描
式為干涉掃描，測(cè)量基準(zhǔn)為DIADUR相位
光柵（LIP 281：OPTODUR相位光柵）。
精度
LIF敞開式直線光柵尺的測(cè)量基準(zhǔn)是
SUPRADUR玻璃基體光柵，用干涉掃描
法。特點(diǎn)是精度和重復(fù)精度，安裝簡(jiǎn)
單，有限位開關(guān)和回零軌。 特殊型的
LIF 481 V可用于10–7bar的真空中（
參見其單獨(dú)“產(chǎn)品信息”）。
運(yùn)動(dòng)速度快
LIDA敞開式直線光柵尺特別適用于運(yùn)動(dòng)速
度達(dá)10 m/s的速運(yùn)動(dòng)應(yīng)用，支持多種安
裝，安裝簡(jiǎn)單。根據(jù)相應(yīng)應(yīng)用要
求，METALLUR光柵的基體可為鋼帶，玻
璃或玻璃陶瓷。 也可有限位開關(guān)。
敞開式光柵尺型：
用于測(cè)量
LIC 4015 18
LIC 4017 20
LIC 4019 22
精度
LIP 372, LIP 382 24
LIP 281 26
LIP 471, LIP 481 28
LIP 571, LIP 581 30
LIF 471, LIF 481 32
速運(yùn)動(dòng)
LIDA 473, LIDA 483 34
LIDA 475, LIDA 485 36
LIDA 477, LIDA 487 38
LIDA 479, LIDA 489 40
LIDA 277, LIDA 287 42
LIDA 279, LIDA 289
封閉式光柵尺型：
用于測(cè)量    0.1um
LC400系列
LC100系列
重復(fù)精度增量式直線測(cè)量0.1um
LF481
LF183
用于增量直線測(cè)量    0.5um
LS400系列
LS100系列
大長(zhǎng)度測(cè)量的增量式直線測(cè)量   0.1um

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